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半导体特气检漏仪

型号:703

产品时间:2017-10-17

简要描述:

半导体特气检漏仪

详细介绍
型号:XP-703D 

  (自动吸引式) 

  半导体特气检漏仪  

特点:

    ¬       于检测半导体特气的微量泄漏。

    ¬采用声光报警。

  规格

型       号

XP-703D

检测对象气体

半导体材料气体(胂、膦、乙硼烷、硅烷、氢气等)

检测原理

型半导体式

采样方式

自动吸引式

可检测浓度

(单位:ppm)

砷烷    磷烷    乙硼烷     硅烷     氢气

AsH3    PH3       B2H6      SiH4       H2

0.2     0.3     0.1        0.5        1.0

检测表示

蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁

应答速度

10秒以内 

 


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